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| 產地類別 | 進口 |
|---|
AL120晶圓搬送機
適應范圍廣、搭配靈活
背面宏觀360゜旋轉
AL120搭載奧林巴斯MX專業晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應用到其他型號的顯微鏡上。
AL120晶圓搬送機技術參數：
| 晶圓搬送機 AL120 規格 | ||||||||
| 200 mm型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | ||||||
| AL120- LMB8- 90 | AL120- LMB86- 180 | AL120- L86- 180 | AL120- LMB86 | AL120- L86 | AL120- LMB6- 150 | AL120- L6- 150 | ||
| 晶圓尺寸（SEMI規格） | 200mm | 200mm / 150mm | 150mm / 125mm / 100mm | |||||
| 晶圓小厚度 | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
| 片盒類型* | SEMI規格：25（26）個slot | |||||||
| 片盒數 | 1 | |||||||
| 檢查模式 | 全部檢查／抽樣檢查 | |||||||
| 搬運順序 | 微觀檢查（顯微鏡檢查） | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 表面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 二次背面宏觀檢查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
| 晶圓定位（每 90º） | 非接觸（定位平邊／V型槽） | 非接觸（定位平邊） | ||||||
| 適配顯微鏡型號 | 奧林巴斯半導體檢查顯微鏡 MX61 | |||||||
| 尺寸（mm） | 主機部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配備顯微鏡時：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) | 主機部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配備顯微鏡時：980 (W) × 620 (D) × 400 (H) | ||||||
| 重量（kg）（僅主機部分） | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
| 使用環境（電源／真空） | AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上 | |||||||
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